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说到半导体芯片，就不得不提到光刻机，作为生产高端芯片的必备设备之一，光刻机的技术成为了芯片行业的焦点，但是目前世界上高端芯片厂商使用的光刻机却只有荷兰的AMSL能够生产，尽管AMSL的EUV光刻机售价高达上亿元，但是还是供不应求。

就在两天前，无锡高新区与ASML签署战略合作协议，将扩建升级光刻设备技术服务基地。ASML光刻设备技术服务无锡基地将会涵盖两大业务板块技术中心和供应链服务中心。技术中心拥有近200人规模专业团队，从事光刻设备的维护、升级等技术服务，面积约2000余平方米。供应链服务中心则为客户提供高效的供应链服务，为设备安装、升级及生产运营等所需的物料提供更高水准的物流支持，面积约2000余平方米。

半导体行业人士表示，因为光刻机比较精密，所以设备运过来之后，装调也是相当重要的一个环节。精密、高价值的设备都得有专人维护着，比如飞机发动机等，需要有定期的检修之类。之前尼康、佳能的光刻机装调就需要几个月，AMSL的光刻机需要的时间更是至少不低于1个月。

光学设备和其他装备不大一样，光学设备一般都有人数较多的装调团队，并且装调也是光学设备里面一项重要工作，ASML在193nm就是靠装调PK掉了日本的尼康和佳能。

目前长三角先进制程半导体工厂有中芯国际上海基地、南京台积电工厂、无锡SK海力士DRAM工厂、合肥长鑫DRAM工厂等。另外，近期华虹半导体无锡基地12英寸生产线实现了高性能90nm FSI工艺平台产品投片。而ASML无锡技术服务基地将不仅仅服务无锡，还将服务整个长三角地区。