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来源：观察者网 新智元

当地时间10月14日，半导体巨头、全球光刻机领头企业ASML首席财务官罗杰·达森（Roger Dassen），对向中国出口光刻机的问题作出了表态。他表示，ASML可以从荷兰向中国出口DUV（深紫外）光刻机，无需美国许可。

当天，ASML发布了其2020年第三季度财报，达森也一同接受了视频采访。当被问及美国的半导体出口禁令对ASML的业务有何种影响时，达森回应称，他们注意到了美方的禁令，也意识到了禁令对中国客户的影响。

随后达森对ASML的光刻机出口问题作出了解释，他说：“如果要解释一下美国的规定对ASML有什么影响的话，对于的中国客户，我们还是可以直接从荷兰向他们出口DUV光刻机，无需任何出口许可。”

但他随后也补充称，如果相关系统或零件是从美国出口的，那这些设备仍然需要得到美方的许可。

采访视频截图

达森表示，ASML将尽最大努力，尽可能为所有客户继续提供服务和支持。

根据公开的财报电话会议录音，ASML首席执行官彼得·韦尼克（Peter Wennink）也在会议上确认了这一点。韦尼克称，根据当前美国的规定，直接从荷兰向中国出口的DUV光刻机不受影响。

但达森和韦尼克都强调的是DUV光刻机出口，并未提到更先进的EUV（极紫外）光刻机。彭博社14日在报道中也强调，DUV的规则不适用于EUV光刻机。ASML必须获得许可证才有可能向中国企业出口EUV光刻机。但荷兰政府已经暂缓了EUV光刻机出口许可，一直到现在都没有批准。

DUV光刻机与EUV光刻机什么区别？

中低端与高端的区别。

EUV光刻机则是实现7nm的关键设备，如果中国大陆无法引入ASML的EUV光刻机，则意味着大陆将止步于7nm工艺。

目前中芯国际订购了一台EUV。价格贵，但不是只买一台的唯一原因，而是买多了，现在真用不上。

有微电子博士解析，就这一台，还是着眼于两三代技术节点之后的产品研发（14nm ->10nm -> 7nm -> 5nm）。必须要用EUV的，是5nm以及以下，直到7nm，DUV都够用。

「三星，英特尔和台积电疯抢EUV，是因为他们目前就要用。三星和台积电都已经开始攻坚3nm了。而中芯国际，在logic device领域，确实还是第二梯队的，下一代和下下代研发，都不是非EUV不可，DUV完全够用。需要多沉下心来多琢磨光刻工艺。」

而更为重要的是，ASML是全球唯一一家能够量产EUV光刻机的厂商。

贵，而且稀有。

EUV光刻机的价格约为1.48亿欧元，折合人民币大概11.65亿元左右。而且ASML的EUV光刻机也产量很低，供不应求，必然会优先考虑自己的大客户，如台积电等。